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本文主要目的是用旋转喷镀法制备Ni–Zn铁氧体薄膜。通过FeCl_2+NiCl_2+ZnCl_2组成的还原液和CH_3COONH_4+NH_3H_2O+NaNO_2组成的氧化液不断地向转盘上的玻璃基片喷镀,在90℃下反应制备了厚度1–2μm的Ni–Zn铁氧体薄膜。利用X射线衍射(XRD)确定样品的物相,用扫描电子显微镜(SEM)观察分析了薄膜的形貌,用振动样品磁强计(VSM)和矢量网络分析仪测量了薄膜的磁性能。在实验中,研究了氧化液pH值、不同Zn含量以及掺Co对薄膜性能的影响。得到如下结