界面对IVA族半导体材料热传导性质影响的计算研究

来源 :燕山大学 | 被引量 : 3次 | 上传用户:kathy052
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
半导体材料,尤其是 IVA族半导体材料,由于具有优良的性能被广泛地应用于微电子、光电子以及热电等各个领域,其发展和应用已成为推动国民经济和人民生活进步的重要动力。半导体材料在制备过程中,往往由于制备条件和材料自身性质的影响很容易引入界面。虽然单个界面热阻的数量级很低,但是当器件尺寸下降到纳米级别时,由于界面数量增多,界面热阻已经不能再忽略,而且界面的存在不仅会引入界面热阻,有时甚至还会影响材料晶内的热传导性质。尽管界面对热传导的影响已经得到证实,但是不同类型的界面是否会对热传导产生不同的影响以及其具体的作用机制仍然存在疑问,且解决该问题对于半导体材料的设计和应用具有重要的指导意义。为此,本文以 IVA族半导体材料为研究对象,通过分子动力学法和第一性原理计算的方法,分别研究了同质界面、异质界面、孪晶界以及异质孪晶界面四种不同类型的界面对半导体材料热传导性质的影响。  以多晶材料作为研究同质界面对半导体材料热传导影响的模型。通过理论推导的方法获得了描述多晶材料热导率的理论模型。在该模型中,多晶材料的热导率可以仅由晶粒尺寸、单晶热导率、单晶声子平均自由程以及晶界热阻得到;并通过300K多晶金刚石热导率的分子动力学模拟值和和多晶硅的实验值对该模型进行了验证。基于该理论模型,还分析了300K、500K多晶硅和300K多晶金刚石中晶界和热尺寸效应对热导率影响的相对重要性。研究表明:在多晶金刚石和多晶硅中,随着晶粒尺寸增大,晶界和热尺寸效应对热导率的影响都在减弱;同时,晶粒尺寸增大,热尺寸效应对热导率影响的相对重要性增强,而晶界的相对重要性减弱。当多晶硅和多晶金刚石的晶粒尺寸增加到10000nm时,晶界和热尺寸效应对二者的热导率几乎都不产生影响。这个新的理论模型为多晶材料热导率的计算和预测提供了简便的途径,而且它对于进一步理解和研究多晶半导体材料的热传导性质起着重要的作用。  以金刚石/碳化硅多晶复合材料作为研究异质界面对半导体材料热传导影响的模型。通过分子动力学方法计算了金刚石/碳化硅多晶复合材料的热导率,并将其与Maxwell模型进行对比发现该模型高估了多晶复合材料的热导率。将热流起源相同的异质和同质界面热阻进行对比发现:异质界面的热阻大于同质界面的热阻,这也是Maxwell模型高估多晶复合材料热导率的原因。通过声子波包法对比分析了旋转角度为0°的金刚石/碳化硅界面和旋转角度为53.13°的金刚石/金刚石、碳化硅/碳化硅界面发现:当热流起源于金刚石时,不同频率下的金刚石/碳化硅界面热阻与金刚石/金刚石界面热阻比值的变化范围为1.2-2.6,该范围包括了分子动力学模拟得到的热阻比值1.6;当热流起源于碳化硅时,金刚石/碳化硅界面热阻与碳化硅/碳化硅界面热阻比值的变化范围0.17-1.52,也包括了分子动力学模拟值1.22。因此,在金刚石/碳化硅多晶复合材料中,当热流起源相同时,异质界面处更强烈的声子散射效应是在能量透过系数和能量透过时间的共同作用下造成的。  以孪晶金刚石超晶格作为研究孪晶界对半导体材料热传导影响的模型。通过分子动力学模拟计算了不同孪晶厚度(0.62-9.92nm)的孪晶金刚石超晶格的热导率和孪晶界热阻值。计算结果表明:孪晶金刚石超晶格的热导率小于单晶金刚石,它随着孪晶厚度的增大而增大。在块体孪晶金刚石超晶格中,孪晶界的热阻与孪晶厚度无关,其值约为2×10-13m2K/W,比普通晶界的热阻值低三个数量级;晶内热阻值与单晶金刚石的热阻值相等,表明孪晶金刚石热导率的减小是由孪晶界热阻引起的,而与热尺寸效应无关。通过第一性原理计算的方法对比研究了孪晶厚度为0.62nm的孪晶超晶格和单晶金刚石的热传导性质,结果发现:孪晶和单晶金刚石中的热容值几乎相等,孪晶金刚石超晶格平均群速度的平方与单晶金刚石群速度平方的比值为0.98,二者平均声子弛豫时间的比值为0.88,表明孪晶界对热导率的影响与热容值无关,它是在减小的声子群速度和减小的弛豫时间的共同作用造成的,而主要的贡献来源于减小的声子弛豫时间。  以Si/Ge异质孪晶超晶格作为研究异质孪晶界面对热传导影响的模型。通过分子动力学方法计算了不同周期长度的Si/Ge异质孪晶超晶格的热导率。结果表明:当周期长度相同时,Si/Ge异质孪晶超晶格的热导率与传统Si/Ge超晶格的热导率很接近,但是其热导率远小于单晶Si、孪晶Si超晶格和Si0.5Ge0.5合金的热导率。通过声子动力学理论对周期长度为1.932nm的Si/Ge异质孪晶超晶格及具有相似结构的传统Si/Ge超晶格、单晶Si、孪晶Si超晶格和Si0.5Ge0.5合金的热传导性质发现:300K时5种结构的热容值几乎相等;Si/Ge异质孪晶超晶格的声子平均群速度值为3273m/s,它是5种结构中最小的;Si/Ge异质孪晶超晶格的平均弛豫时间为5.11ps,远小于单晶Si的弛豫时间值。因此,Si/Ge异质孪晶界对热传导的影响与热容无关,而是减小的声子群速度和减小的弛豫时间共同作用的结果。此外,虽然Si/Ge异质孪晶超晶格和传统Si/Ge超晶格的热导率很接近,但是这两种结构中具体的声子散射机制是不同的,Si/Ge异质孪晶超晶格的平均群速度小于传统Si/Ge超晶格,而其平均弛豫时间值大于传统Si/Ge超晶格。我们的结果提出了一种新的、具有强烈声子散射效应的超晶格结构。
其他文献
美国现行企业治理模式失灵是其经济难以真正复苏的主要原因之一.外部大股东介入公司运营非但没有带来理想中的效率提升,反而干扰了管理层的正常决策,加重了对劳动者的盘剥.金
在疫情防控一线的社区网格员,每天身着蓝色马甲、戴着口罩、微信步数上万,他们奔走在巷道里楼宇间,用脚步“织”出疫情防控最密的网。  带伤坚守,一天至少走3万步  “姚哥,脚好点没,工作之余还是要注意自己的身体。”2月3日上午8点,家住雅安市雨城区雅州大道锦绣华庭小区的姚卫东来到斗胆社区服务大厅,第一件事就是给自己消毒,听到社区工作人员关心的话语,他笑着摇头表示自己没事。  简单吃完早餐后,姚卫东便拿
期刊
建设中国特色社会主义政治经济学话语体系,需要把中国经济建设的轨迹、经验、规律讲透彻.要做到这一点,关键在于形成和运用具有马克思主义渊源的、区别于西方主流经济学但又
马克思主义政治经济学的中国化发展是马克思主义中国化的重要内容之一,与时俱进地创新发展马克思主义政治经济学、构建中国特色社会主义政治经济学理论体系,是当前学术界研究
期刊
钢结构桥梁正在向高速、重载、大跨和整体焊接节点的方向发展,为满足这些要求,现有的桥梁钢亟待进一步升级,集高强度、高韧性、低屈强比、易焊接和高耐蚀等多项性能为一体的高性
本文通过对荣华二采区10
期刊
超越“强制性—诱致性变迁”二分法,构建动态制度变迁模型是制度经济学研究的前沿和难题.本文初步构建了一个以个体和权威为主体,包含制度变迁成本的动态演化博弈模型,并以中
纳米α-Fe2O3是目前新型光解水材料的研究热点之一。与其它光解水材料相比,α-Fe2O3具有储量丰富、价格便宜、稳定性好和带隙宽度合适的优点。但是,纳米α-Fe2O3也存在众多的缺
为了发挥全国政治经济学专业教师和科研人员的集体智慧、加强政治经济学学术前沿问题的识别和筛选,为给全国政治经济学专业博士生提供选题指导、不断提高人才培养质量,为对繁
期刊