【摘 要】
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该文在分析国内外RF-MEMS研究现状的基础上,对相关微尺度射频元件,如微机械电感器、微机械电容器、微机械射频开关以及微机械谐振器/滤波器的设计理论作了较深入的分析,为这
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该文在分析国内外RF-MEMS研究现状的基础上,对相关微尺度射频元件,如微机械电感器、微机械电容器、微机械射频开关以及微机械谐振器/滤波器的设计理论作了较深入的分析,为这些微尺度射频元件的研制提供了理论基础.该文重点对关键器件——微机械天线作了深入的理论、数值计算和实验研究,成功地研制出多种结构的微机械天线,在微机械天线的理论设计和制造上取得了突破与创新.该论文的主要研究内容包括:研究了微尺度射频元件(微机械电感器、微机器电容器、微机械射频开关和微机械谐振器/滤波器等)设计基础理论;重点对微机械天线的结构设计,微机械天线的基本理论与电磁仿真计算,微机械天线的制造和测试等方面作了较全面的研究.微机械天线研究具体涉及到微机械微带线结构设计及其有效介电常数、特性分析;微机械天线混合基底等效模型及其空腔模型法分析;微机械天线的有限时域差分法分析;微机械天线结构设计及微型化研究;微机械天线的参数计算和电磁数值仿真分析;微机械天线的加工制造;微机械天线的测试;微机械天线的计算与测试结果分析.
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