OPC与SPC集成技术在半导体生产中的应用

来源 :长春工业大学 | 被引量 : 0次 | 上传用户:yangliang0510
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随着社会的进步和企业之间竞争的不断加剧,产品质量关系着企业的成败。SPC即统计过程控制(Statistical Process Control)是质量控制的一种重要工具,其系统主要是指应用统计分析技术对生产过程进行实时监控,科学的区分出生产过程中产品质量的随机波动与异常波动,从而对生产过程的异常趋势提出预警,以便生产管理人员及时采取措施,从而达到提高和控制质量的目的。通过在企业中实施SPC,实现对产品稳定性的实时监控和预测,从而达到发现异常、及时改进、减少制造成本、降低废品、改善总体设备效能、提高产品合格率及产品效能等作用。对企业的质量控制有着至关重要的作用。 但在实施SPC系统时数据采集无法满足现代企业的需要。一方面,控制和检测仪器繁多,SPC系统与它们之间,缺乏统一的连接标准,使得SPC系统往往需要供应商为硬件设备开发专用的驱动程序,这样一旦硬件设备升级换代,就需要对相应的驱动程序进行更改,增加了系统的维护费用。 另一方面,存在着底层数据如何与其它计算机进行信息沟通和传递的问题。由于生产测试设备是不同厂商开发的,底层数据与计算机之间缺乏有效的通信接口,因此通信规范问题成为了制约SPC系统的瓶颈-“信息孤岛”。而OPC技术的出现解决了上述问题。 本文结合了飞利浦半导体有限公司的实际情况。首先,介绍了针对于半导体芯片的测试数据,如何实施SPC的过程,通过对实际情况的分析和研究确定了B/S架构的SPC分析系统,并利用OWC、ASP和.ADO等关键技术成功的构建出了SPC分析系统。然后,阐述了OPC技术的规范和接口,结合实际要求,开发出了OPC客户端系统。最后,通过数据库和OPC服务器选型工作,成功地将SPC与OPC技术结合在一起。实现了SPC与OPC在半导体生产中的集成。 文中提出的OPC技术与SPC技术的集成技术,是先进自动化测试技术与质量控制的完美结合,尤其是基于数据库的SPC系统,它以数据库形式记录存储数据,实现数据共享,具有良好的系统性。再结合OPC数据采集,实现“实时监控”过程,可动态了解当前产品的质量状况。而且通过Web的方式使用SPC分析系统,无需对客户端进行配置和限制,提高了SPC系统的兼容性和扩展性,对于大批量的半导体生产尤其有益。
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