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成本低廉、转换效率可与传统硅基太阳能电池相媲美的化合物半导体薄膜太阳能电池的研究和制备,是当今光伏领域的研究热点。CdS/CdTe多晶薄膜太阳电池是下一代薄膜太阳能电池的重要候选者,受到人们的高度重视,发展十分迅速。制备CdS以及CdTe薄膜的方法很多,常见制备CdS/CdTe薄膜太阳能电池的是干法和湿法相结合的制备工艺,即利用化学水浴法制备CdS窗口层,再利用溅射或蒸发等物理手段制备CdTe吸收层。本文利用全干的物理手段制备了CdS和CdTe薄膜,以及CdS/CdTe薄膜太阳能电池,成本低