论文部分内容阅读
为了满足紫外告警接收系统光谱分析的需要,实现对日盲区光谱探测的作用,本文从理论、实验两方面讨论了紫外光谱分析滤光片的设计和制备。本文阐述了告警系统紫外滤光片的发展和现状,研究了日盲紫外告警接收系统的工作原理。运用薄膜的特征矩阵,对单层增透膜和多层增透膜原理进行了分析,建立了多层膜干涉截止滤光片的理论模型。通过对材料性能的研究选择氧化铪(HfO2)、氟化镁(MgF2)、紫外二氧化硅(UV-SiO2)作为镀膜材料,熔融石英(JGS1)作为基底,通过对镀膜工艺条件的研究选择合适的工艺参数,采用电子束(EB)加热蒸发的方法进行蒸镀。利用石英晶体振荡法和光电极值法相结合的方法监控膜层厚度,解决了膜厚的精确控制的问题。采用离子辅助沉积(IAD)的方法提高薄膜的致密性。本文制备的滤光片满足入射角0°~25°范围内240nm~280nm波段透过、300nm~620nm波段抑制。解决了薄膜脱膜的问题和材料的吸收的问题。并对整个课题的主要工作及取得的主要成果进行了总结,并且提出了滤光片的今后研究的方向。