多弧离子镀技术制备TiN基纳米复合多层膜及其性能研究

来源 :山东大学 | 被引量 : 0次 | 上传用户：ncsjc

【摘要】

：

以TiN为代表的硬质涂层,因具有高硬度、好的耐磨性和化学稳定性等优点,常被用作机械加工中的刀具、模具的表面改性材料,应用十分广泛。然而近年来快速发展的干式切削、高速切削等新型切削工艺,往往需要涂层刀具在高温、重载荷和高的冲击频率等严苛的生产环境下工作,传统的TiN薄膜已不能满足现代切削工艺的性能要求。为提升薄膜性能,人们通过多层化的方式将TiN薄膜调制成具有界面效应和层间耦合效应的纳米多层膜,通过

【作者】

：

杨波波

【出处】

：

山东大学

【发表日期】

：

2019年09期

【关键词】

：

多弧离子镀纳米复合多层膜 TiN基调制周期超高硬度

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