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光纤传感器由于其本身特有的优势,如结构简单、体积小、无电磁干扰,在航空航天、能源、建筑等工业和军事领域得到了广泛的应用。光纤法珀传感器是光纤传感器中的典型代表,随着各种微加工技术的发展,出现了各种微型的光纤法珀传感器。光纤法珀压力传感器继承了光纤传感器的基本优点,并得到了较好的发展应用。目前光纤法珀压力传感器已经应用于涡轮发动机和油井等环境的压力测量。本文围绕光纤法珀压力传感器展开,针对国家重点需求领域,致力于通过157nm激光微加工技术制造一种微型耐高温的光纤法珀压力传感器,用于高温压力测试。论文简要介绍了光纤法珀的基本分类和原理,根据膜片感压原理在理论上计算了所需传感器的尺寸,并按照实际需求设计了两种量程的光纤法珀压力传感器,利用157nm激光加工技术在普通单模光纤上制作压力传感器,制成了一种工艺可靠、尺寸微小的光纤法珀压力传感器。然后搭建实验平台对传感器的主要性能指标进行测试,实验结果表明,两种光纤法珀压力传感器在各自的量程范围内线性度均达到0.99以上,最大误差均小于1%,并对5MPa光纤压力传感器进行了高温测试,在300℃范围内,不同温度点下,光纤法珀压力传感器单位压力的相位变化量略有不同,但线性度均大于0.99,经过标准计量测试,所制作的5MPa光纤法珀压力传感器获得国家1检定证书。