稀土镝、钕、镧掺杂纳米SnO<,2>薄膜的特性

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【摘要】

：

采用真空热蒸发法在玻璃衬底制备纳米Sn薄膜,在空气或氧气气氛下对薄膜进行氧化、热处理,获得性能良好的SnO_2纳米多晶薄膜。采用同样方法制备稀土金属镝(钕、镧)掺杂纳米SnO_2薄膜。经X射线衍射仪、场发射扫描电子显微镜、分光光度计等方法对薄膜进行各种性能测试,研究不同制备工艺、稀土掺杂含量、及热处理温度和时间对SnO_2薄膜的结构特性、晶粒尺寸、表面形貌、电学、光学、气敏特性影响。实验给出:以高

【作者】

：

汪良

【机构】

：

内蒙古大学

【发表日期】

：

2008年05期

【关键词】

：

真空热蒸发纳米薄膜SnO2 稀土掺杂镝、钕、镧结构、光学、气敏特性

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