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本文设计制作了一种可以对室温下物体进行红外成像的仪器。这一仪器基于双材料微悬臂梁的热—机械响应原理来检测入射红外辐射。建立了基于非相干光空间滤波技术的高灵敏度光学读出系统来读出微悬臂梁阵列(FPA)的热致转角,这一系统使用第一代FPA得到了高温物体(65℃)的热像。
文中分析了该成像系统的灵敏度和噪声来源。提出了系统NETD的计算和实验验证方法。对于所使用的多重回折结构的微悬臂梁单元,在实验上验证了所提出的提高温升和放大变形设计的效果。给出了微悬臂梁单元吸收入射红外辐射产生变形的理论模型。
为了消除空气对梁热传导以及噪声的影响,本文设计制作了真空系统,通过将FPA放置在真空腔内以提高性能。文中将对以上工作进行详细的论述。