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随着科学技术的发展，许多领域对精密驱动的要求越来越高，不仅要有较高的分辨率，而且要有足够的输出力和较大的输出刚度。传统的电磁驱动器已经不能满足这些要求，压电尺蠖式电机的出现有望满足这些要求，得到了国内外的广泛关注，国内外研究者成功研制了各式各样的压电尺蠖式驱动器。压电尺蠖式直线电机一般具有两个箝位装置和一个驱动装置，采用仿生运动原理“箝位—驱动—箝位”，电机移动部件和非移动部件之间应当保持一致的间隙，否则将会引起电机输出性能的改变。由于箝位装置的变形量相对一般加工的公差较小，移动部件和非移动