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钴基磁性薄膜在现代高技术磁性材料中占有重要的地位，其中，CoP系硬磁薄膜以其优异的硬磁性能引起了人们极大的关注。在CoP系硬磁薄膜的制备方法中，电化学方法能在任意复杂的表面大面积成膜，且操作温度低，操作简单，具有很大的发展前景。然而，由于镀液组分复杂，影响磁性因素众多。为弄清影响磁性的因素及各因素的相对重要性，本文分别采用化学镀和电沉积制备了CoP系硬磁薄膜，详细地考察了各因素对薄膜结构和磁性的影响，揭示了制备工艺——组织结构——磁学性能之间的相互联系。在此基础上，通过复合电沉积向薄膜中掺入BaFe