光学稀疏孔径成像系统由多个子孔径按照一定规律排列而成,以干涉方式成像,分辨率高于任一子孔径。其中,子光束的定相相干合成是稀疏孔径系统实现高分辨率的关键,因此,光束合成误差的是影响系统分辨率的主要因素。本文主要对光束合成误差的补偿技术进行了研究。本文对稀疏孔径系统的三种光束合成误差进行了分析,它们分别是Piston误差、Tip/Tilt误差,瞳面误差,需要通过一定的技术手段将这三种误差保持在其最大允许值范围内,来保证光束的相干合成。针对光束合成误差,讨论了三种用于检测误差的方法,分别是夏克-哈特曼传感技术、“金字塔”传感技术、PD传感方法,通过这三种方法的独立或者联合使用,能够实现对系统光束合成误差的精确检测。设计了调整误差的光学延迟线(ODL)方案,通过OPD与FSM的联合使用,能够实现对光束合成误差的精密控制,保证系统子光束的定相合成,从而实现稀疏孔径系统的高分辨率成像。