纳米晶金刚石膜合成研究及CVD金刚石辐射探测器研制

来源 :中国科学技术大学 | 被引量 : 0次 | 上传用户:shenth_1980
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  金刚石集多种优异的力学、热学、电学和光学性质于一身,应用领域广泛。尽管CVD金刚石的研究目前已取得了令人瞩目的成就,但无论是制备技术还是应用研究都还远远不够,还有很多课题需要深入研究,包括高电学光学质量金刚石合成、金刚石膜的结构和性能、金刚石器件的开发等方面的研究。 本文对金刚石制备和应用进行了研究。介绍了对原有的装置进行技术改造的情况;探讨了金刚石纳米相合成及机理;阐述了金刚石辐射探测器的研制过程。本文研制的CVD金刚石探测器具有暗电流低、时间响应快、灵敏度高等优点,这与我们的CVD金刚石的电学质量高、金刚石表面的抛光处理及电极设计合理分不开。CVD金刚石辐射探测器的研制为CVD金刚石的高端应用奠定了坚实的基础。  
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