WS<,2>/Ag、Mo硫化物/Ti复合薄膜的环境摩擦磨损

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【摘要】

：

层状结构的MoS_2、WS_2具有较低的摩擦系数和较好的耐磨性，常作为固体润滑剂应用于空间技术领域。但纯MoS_2、WS_2薄膜在潮湿和富氧气氛中的摩擦学性能较差，为进一步改善其摩擦学性能，本文利用高能球磨层状WS_2和Ag混合粉末，制成不同Ag含量的WS_2／Ag复合靶，然后用射频溅射方法制备WS_2／Ag复合薄膜，研究Ag含量和溅射气压对WS_2／Ag复合薄膜的微观组织结构和摩擦磨损性能的影响

【作者】

：

彭仕敏

【机构】

：

浙江大学

【发表日期】

：

2007年05期

【关键词】

：

WS2/Ag复合薄膜 Mo硫化物/Ti复合薄膜硫化金属前驱体膜摩擦磨损

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