【摘 要】
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为了进一步减少激光在传输过程中的光能损失,针对多模光纤和光学系统中的光学零件,根据光学薄膜的理论,设计并制备了减反射膜和抗激光的高反射膜。并对激光膜的镀膜材料、膜
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为了进一步减少激光在传输过程中的光能损失,针对多模光纤和光学系统中的光学零件,根据光学薄膜的理论,设计并制备了减反射膜和抗激光的高反射膜。并对激光膜的镀膜材料、膜系设计、沉积工艺及离子辅助沉积参数等进行了深入研究。利用真空镀膜技术,利用TFC软件进行膜系设计,有效的提高了激光损伤阈值,解决了低温冷镀的膜层牢固性问题。通过对镀制后基片的测试结果分析,调整镀膜工艺参数和监控方法减小了膜厚误差。制备的减反膜的反射率R<0.2%,高反射膜当激光以25°—65°入射时,其反射率R>99.7%。
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