基于高速摄像的EFO打火成球实验研究

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随着微电子制造技术的进步,芯片朝着高集成度发展,因此在引线键合工艺过程中焊盘间距不断缩小,由此产生一些问题:焊球过小导致焊接不牢、焊盘间距小导致短路等。而在电子打火(Electronic Flame Off, EFO)过程中形成的焊球(Free Air Ball, FAB)不仅会影响第一键合点的质量,而且影响形成低弧度环的可行性。为此有必要对EFO过程中FAB的形成进行实验研究,而且这些研究有利于了解焊球的动态形成机理。本文主要工作是研究EFO过程中FAB的形成,主要包括以下内容:(1)设计EFO打火实验检测系统,利用高速摄像机记录EFO打火成球过程,同时利用数据采集卡采集EFO打火电流电压信号。运用图像处理的方法对获得序列图像进行特征提取,使用Ransac算法拟合圆,得到FAB直径及其球心。(2)对实验中形成的FAB凝固表面出现波纹和底部变平的现象分析其产生原因。同时通过设置不同的EFO打火参数,分析出现高尔夫球(golf ball)现象的原因。(3)估算尾丝熔化成球过程中,EFO打火杆放电产生热量的分配情况。以上工作为EFO打火过程中FAB的形成深入了解,打火参数的优化提供了有价值的参考。
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