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自适应光学通过控制变形镜镜面形貌来实时补偿光学像差,在天文观测、生物技术、激光工业、视网膜成像及激光通信等方面具有广阔的应用前景。压电变形镜由于其具有分辨率高、响应速度快、驱动力大等优点,得到广大研究人员的青睐,但是压电变形镜的迟滞非线性直接导致了系统开环控制精度及闭环工作带宽的降低。本文的研究目的是对压电变形镜的迟滞非线性特性进行消除,主要分以下几方面:(1)首先对压电变形镜的迟滞非线性进行了分析,同时基于迟滞非线性模型控制方法,详细描述了PI迟滞模型,给出了迟滞模型参数选取和辨识的方法以及PI逆