5G,也就是第五代移动通信技术,已经发展成当前通信领域的一个研究热点。随着5G技术的普及,无线通信技术朝着高功率、高频率方向不断发展,射频功率器件也得到了更加广泛的应用。射频电路设计依赖于器件模型的准确表征,而射频在片测试是器件特性精确表征的基础。完整的器件测试不仅是传统的小信号S参数测试,还包括在较大的输入信号激励下的器件非线性特性测试。因此本文在对小信号S参数进行简要介绍的基础上,对射频功率器件的非线性测试技术进行了深入的研究和讨论。论文的主体内容可以分成下面的几个部分:1、对射频功率器件的在片测试技术进行了简要的介绍,包括小信号S参数测试技术和非线性测试技术及其测试指标,并介绍了关键的测试元件及仪器,如矢量网络分析仪、示波器、信号发生器等。2、对不同类型的负载牵引技术进行了对比分析,并针对有源负载牵引稳定度差、调谐速度慢的问题,提出了一种利用基于贝叶斯推理的行为级模型进行阻抗调谐的算法,通过实验验证了这项技术可以有效减少合成负载阻抗过程所需要的迭代次数,提高阻抗合成精度。3、利用实时负载牵引技术对HBT在负载失配时的性能进行了测试及分析。对传统测试方法进行了改进,利用改进后的阻抗圆进行负载失配测试,同时对阻抗圆的计算方法进行了详细讨论分析。实验结果表明,传统方法得到的数据对实际应用中负载失配对器件的影响评估是有欠缺的。此外,结合所用测试系统对功率校准算法进行了深入研究。4、针对5G调制信号带宽逐渐增大的背景,对面向宽带非线性特性表征的双音测试技术进行研究并提出了一种双音测试系统,基于测试系统编写了ATE测试工具。同时分析了交调失真原理及研究了IMD边带不对称现象产生的原因。