高精密定位技术是精密加工的关键技术之一。回转工作台的定位精度越来越受到关注,宏微结合的驱动方式在在许多高精密定位系统中得到广泛应用,微位移技术成为高精密定位系统中的关键技术。通过对国内外微位移技术应用现状了解知道,电致伸缩器件带来了纳米级定位。在平动工作台中它已经得到了广泛的应用。同样的,本文设计了一套方案,利用了压电陶瓷驱动器来提高回转定位精度。同时设计了回转工作台的整体结构方案,包括电机的选型和匹配计算,编码器的选择,伺服系统的定位控制计算等。利用压电陶瓷驱动器来提高定位精度,在回转工作台的定位精度上是一个大的提高,同时,它也给我们带来了新的思考和新的方向。微位移驱动机构是电致伸缩器件传递位移的中间环节。设计合理的柔性铰链是精度执行的保证。在完成对柔性铰链机械结构的设计计算的同时,通过有限元分析对柔性铰链进行了分析。同时还对压电陶瓷进行了选型。压电陶瓷驱动电源是微进给装置的关键部分,在权衡高精度和负载能力的情况下,设计并实现了压电陶瓷驱动电源的硬件部分。在针对回转工作台的应用前景,分别设计了开关式高精度压电陶瓷驱动电源和直流放大压电陶瓷驱动电源两种方案。最后对直流放大式压电陶瓷驱动电源进行了测试和标定。