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随着太赫兹技术研究的不断深入,在太赫兹波段缺少大功率信号源,为满足太赫兹系统对较大功率输出的需求,必然要采用功率合成技术,因此对太赫兹功分/合成器的需求日益迫切。然而,受制于其固有物理尺寸特性,鲜有成功的实例。本论文关注应用于太赫兹频段的功分/合成器的研制问题,主要基于具有实用前景的MEMS工艺太赫兹波导技术开展,充分结合新型工艺和传统结构的优点,针对太赫兹频域的新特点,从设计理论、加工技术和测试方法三方面对太赫兹功分/合成器展开研究。完成达到性能指标的380GHz太赫兹矩形波导功分/合成器,以及340 GHz矩形波导10dB定向耦合器的设计。其主要内容为:1.研制了380GHz的矩形波导3dB功分/合成器。方案一,采用E面矩形波导五分支线电桥结构的设计方案;方案二,采用H面矩形波导裂缝电桥结构的设计方案。两种结构通过国内某研究所MEMS工艺线进行加工。为保证可行性测试,矩形波导均基于WR-2.2标准矩形波导,并对应指标每种结构各设计四种结构和配套夹具。之后在香港城市大学进行样品测试,测试结果完全达到课题指标要求:E面矩形波导五分支线电桥结构功分器在375-385GHz频率范围内损耗均小于1.6dB,端口隔离度优于32dB,幅度不平衡度小于2dB;H面矩形波导裂缝电桥结构功分器在375-385GHz频率范围内损耗小于2.5dB,端口隔离度优于20dB。2.研制了340 GHz的矩形波导10dB定向耦合器。提出了五分支线电桥形式与田字形耦合电桥形式两套方案。仿真效果均优于项目指标,成品仍在加工中尚未测试。本文成功研制了太赫兹功分/合成器,最终形成一套针对太赫兹功分/功合器的行之有效的设计、加工、验证的理论体系,为太赫兹功分/功合器的广泛应用和太赫兹系统的发展打下良好的基础。