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微机电系统(MEMS)具有体积小、质量轻、集成度高等特点,但MEMS结构微型化后,其构件间的间隙往往处在微纳米量级,摩擦和粘着等摩擦学问题严重影响了MEMS的可靠性。分子有序薄膜技术可以有效改善构件表面的摩擦、降低磨损,是解决MEMS摩擦磨损问题的有效途径之一。近30年来发展起来的自组装技术是制备分子有序薄膜技术的有效技术。自组装薄膜优异的润滑性能引起了研究者极大的兴趣,因此,分子自组装膜的制备及其摩擦学性能研究逐渐成为摩擦学研究领域的热点。本论文针对微机电系统中微构件表面改