太赫兹电磁波的频率在0.1~10THz之间。太赫兹电磁波具有相干性等可广泛应用的特殊性质。进入二十一世纪之后,太赫兹愈加广泛的受到人们的关注,在生物医疗、公共安全以及通信领域,太赫兹波应用更为广泛。为了评估太赫兹微测辐射热计探测器的器件性能,需要一套测试系统对探测器的响应、噪声以及等效噪声功率等性能参数进行测试,测试依据应该紧密联系太赫兹探测器的器件结构,对测试参数结果的分析能够有效反映太赫兹探测器的性能。我们通过介绍微测辐射热计的探测原理和器件结构,分析和研究太赫兹探测器的响应、噪声以及等效噪声功率,发现其响应、噪声受到太赫兹探测器材料与器件结构较大的影响。探测器响应受到材料的热导、热容以及电阻温度系数性能的影响,而这些性能参数对应着器件微桥、吸收层薄膜以及热敏材料的特性和结构。噪声是由Johnson噪声、1/f噪声以及声子噪声等热噪声以及空间噪声组成,它们与探测器热学波动、背景辐射以及探测器像元制备工艺相关。等效噪声功率能够很好反映太赫兹探测器信噪比的大小,衡量其实际应用的价值。测试参数的分析对太赫兹探测器的制备有很重要的参考意义。基于太赫兹探测器器件性能分析与辐射源的工作特点,研究了相关的测试方法与技术,确定了能够有效反映太赫兹探测器工作性能的各参数的计算方法。搭建了测试平台,完成了测试平台中测试系统的研制,其中,太赫兹探测器测试系统硬件平台完成了探测器驱动电路、电源管理电路、模数转换电路、温度控制电路、LVDS接口电路以及基于Camera Link接口的数据采集电路。软件平台完成了对采集到的太赫兹探测器数据的计算处理,对探测器的RMS时域噪声、固定图像噪声、响应电压、响应率以及噪声等效功率(NEP)等性能参数进行了记录与报表化处理。研制成功的太赫兹探测器测试系统工作稳定,电气性能良好。最后利用测试平台对实验室制备的太赫兹探测器进行了测试,将测试结果进行了展示和分析,从测试方法和探测器内部结构方面对测试结果进行了分析。