为实现多波长激光的同轴合束，要求两维摆镜的偏转角度在一个毫弧度内。由于摆镜系统的精度要求很高，而压电陶瓷的迟滞、蠕变等特性会影响系统的控制精度，所以本文从压电陶瓷的特性和控制的角度出发，对压电陶瓷建立数学模型，在两维摆镜动态迟滞逆模型的基础上提出前馈PID控制算法，从而建立高精度的两维摆镜驱动控制系统。论文主要包括以下3部分内容:1、两维摆镜驱动控制系统硬件电路的设计，控制器以TMS320F28335作为主处理器，并完成外围电路的设计；驱动电路采用高压功率放大式，完成驱动放大电路的设计，对输入电压进行10倍的放大。2、研究了压电陶瓷迟滞、蠕变等特性和两维摆镜的动态特性，建立两维摆镜的动态迟滞逆模型，设计前馈PID控制算法。该方案的核心思想是：根据两维摆镜的动态迟滞逆模型设计前馈控制环节；在此基础上进行反馈控制器的设计，利用PID控制算法实现两维摆镜的闭环控制。3、最后，对设计的两维摆镜驱动控制系统进行了性能测试实验。在开环的条件下，测试驱动控制系统电路的线性度、输出稳定性、正弦动态响应等性能指标；在闭环的条件下，测试系统的输出精度、重复精度、动态迟滞特性。实验结果表明，所设计的压电陶瓷驱动两维摆镜控制系统具有较好的静态偏转输出特性和动态跟踪特性。