【摘 要】
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该课题主要研究了串联谐振高频感应加热电源,为核技术中固体放射源制备所需的真空蒸发镀膜承担蒸发源,并制作了一台100KHz、15KW可用于真空蒸发镀膜的全固态高频感应加热电源
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该课题主要研究了串联谐振高频感应加热电源,为核技术中固体放射源制备所需的真空蒸发镀膜承担蒸发源,并制作了一台100KHz、15KW可用于真空蒸发镀膜的全固态高频感应加热电源样机.实验结果表明:该全固态高频感应加热电源工作稳定,输出频率约为100KHz,输出功率约15KW,整机效率可达到90％,电源能实现自动频率跟踪,输出功率可调,性能良好,保护功能齐全.能满足真空蒸发镀膜工艺的需要,具有较好的实用价值和应用前景.该课题的斩波调功电路有待于进一部利用软开关技术,减少开关损耗;文中提出的复合控制器有待于实际的电路应用.
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