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氧化镍是具有典型的3d电子结构的氧化物半导体,是一种p型半导体材料,禁带宽度是在3.6~4.0eV之间。因为氧化镍薄膜具有优良的光电特性,而被广泛应用于紫外探测器,电致变色器件,电池电极及电化学电容器等领域。氧化镍薄膜的制备方法有:磁控溅射、化学气相沉积、分子束外延、脉冲激光沉积等。这些方法设备昂贵,技术较复杂,不易于大面积的薄膜制备。目前发展的溶胶-凝胶法则成本低廉、工艺简单、成分均匀,适用于多元掺杂薄膜的制备。本论文采用溶胶-凝胶法,用不同浓度的溶液,在不同热处理温度下制备了多组