太赫兹近场超分辨率成像技术研究及实现

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太赫兹成像作为太赫兹的关键技术之一,在安检、无损检测等方面有广阔的应用。经典太赫兹时域光谱成像技术受波长的衍射极限影响,分辨率只有几百微米,难以实现亚波长成像测量。近场成像是突破衍射极限、获得超分辨率图像的研究方法之一。本研究设计搭建了基于飞秒激光成丝的太赫兹超分辨率成像系统,并基于Labview语言,设计了成像软件。软件实现了成像系统中电动平移台的运动控制、太赫兹时域-频域光谱的计算、太赫兹波特征数据的提取和成像处理以及基于SQLsever的成像数据存储调用。对比研究了在不同位置截断1000 mm和400 mm焦距的透镜聚焦双色光形成的等离子体丝对太赫兹波时域幅值和频域峰值频率的影响;400 mm透镜聚焦双色光产生的太赫兹波,其峰值频率和成丝末端太赫兹波幅值稳定性较高。使用飞秒激光成丝产生太赫兹波(峰值频率0.64 THz,波长480μm)对掩模板扫描成像,获得了小于100μm成像分辨率。分辨率小于入射波长的一半,达到太赫兹超分辨率成像。在表征掩膜板结构分布时,时域成像优于频域成像,并且时域成像中的积分能量成像可以分辨出掩膜板更多的细微结构,实现更好的成像效果。
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