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压电陶瓷作动器作为智能材料的一种,具有压电效应好、分辨率高、反应速度快以及成本低等特点,在精密仪器、微位移和微控制等领域得到了广泛的应用。压电陶瓷作动器本身所具有的迟滞非线性特性是一种强非线性,且这种迟滞非线性又是率相关的,这些都严重影响了控制精度,甚至导致控制系统发生震荡,制约着它的应用。本文首先建立压电陶瓷作动器的Hammerstein模型,然后深入研究了压电陶瓷作动器的跟踪控制问题,主要包括以下几个方面的内容。第一个部分在分析总结了国内外对于压电陶瓷作动器建模的基础上,分析各种模型的优缺点和应