高频小型石英晶体微天平的研究

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石英晶体微天平(QCM)是一种新型的高灵敏度质量传感器,具有结构简单、制作方便、成本低和测量精度高达纳克级等优点,在生物、化学分析领域得到广泛应用。本文提出一种基于流动注射技术的高频小型便携式QCM系统,由液体注射泵、进样阀、流通池(含QCM芯片在内)和检测振荡电路组成。QCM的质量-频率灵敏度与其基本频率的平方成正比,增大基频可以提高灵敏度;其基频与厚度成反比,所以提高基频必须减小石英晶片的厚度。而厚度的减小会降低晶片的机械强度,在夹持及表面修饰处理中容易造成芯片破碎。为克服这一障碍,设计了一种“反台阶”式QCM结构:芯片的外围保持晶片原来的厚度以维持必要的机械强度,中心区域减薄以实现高频谐振。采用廉价的湿法石英腐蚀微加工工艺完成芯片的制作,并利用阻抗分析仪对制作的芯片进行性能测试。测试结果证明,对于40-50MHz的高频芯片,空气中的Q值高达两万以上,纯水中约为一千。流动注射技术作为一种新兴的分析技术,具有实时、快速和节省样品量等优点。提出并设计了基于弹簧针接触电极三层结构式流通池,具有结构简单、装卸方便和可重复使用等优点。为高频QCM传感器设计了简单振荡电路,其增益和相位均可调节,为QCM系统增强了操作性和便携性。在完成流动注射型高频QCM系统的搭建后,本文测量了传感器在液相环境下工作时的输出频率及等效电路参数。结果表明,在振荡电路的激励下,文中制作的QCM芯片不仅能够正常工作于液相中,并且频率的稳定性也较高。最后,利用抗原抗体免疫反应验证了构建的流动注射型QCM系统在线监测的可行性。
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