半导体晶圆制造系统的生产工艺复杂,设备价格昂贵、种类繁多。备件是维持晶圆制造系统正常运转不可或缺的因素,良好的备件库存管理控制不但可以保证生产的正常运行,还能大大减少库存成本,因此研究一套有效的备件库存控制方法具有重大意义。在目前半导体晶圆制造企业控制备件库存的实践中,仍然存在一些问题,如:备件未进行科学分类管理,缺乏科学的备件消耗与需求预测方法,备件管理信息系统未受重视等方面。本文从半导体制造企业实际情况出发,在分析晶圆制造企业备件库存控制所存在的主要问题的基础上,探讨解决这些问题的对策,并提出科学高效的备件库存控制方法。主要体现为以下三个方面:第一、备件分类是备件库存控制的基础,本文在对当前国内外备件分类方法进行一系列研究的基础上,根据半导体晶圆制造企业备件的特点,提出了多维度备件分类方法。此方法克服了现有分类方法的不足,使晶圆制造企备件分类更加准确、有效,和有针对性。第二、需求预测是备件库存控制的重要工作之一,因为需求的变化与波动,使得采购作业、库存管理等活动均受影响。通过精确的预测来掌握需求,不但能保证企业安全、稳定的进行生产活动,还可以达到降低库存成本、提高顾客服务质量与竞争力的目的。但备件需求往往具有不确定性,采用常规方法对其准确预测相当困难。本研究应用灰色预测方法中容易处理非线性问题、少数据、小样本的预测特性,针对半导体晶圆制造企业备件,构建了一个备件需求量的预测模型,以提高预测精度。第三、有了科学的备件分类与需求预测方法,还需要信息系统的支持。结合理论与实践,本文提出了半导体备件管理信息系统的方案。对现有备件库存控制流程进行了优化,运用信息系统手段科学地解决了半导体生产过程中备件配额优化,质量控制以及供应链管理等问题,并以实例来证实了此系统的有效性。