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随着煤、石油、天然气等传统能源的广泛使用与日益减少,全球能源问题与环境问题变得日益突出。如何有效地转化利用新能源、储存新能源成为产业界关注的重点,也成为科学研究的热点。和传统电池、电化学超级电容器相比,由于在高能量密度、高功率密度上的潜在优势,基于纳米模板的固态纳米电容成为一个很具潜力的新型储能元件。本文以制备基于硅上阳极氧化铝(AAO)模板的三维纳米电容阵列为指导思想。首先研究了硅上AAO模板的制备工艺,然后以AAO为模板,结合原子层淀积(ALD)技术,在硅上AAO模板中形成了纳米固态电容阵列。具