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光开关是实现全光网络的关键器件，本文对MEMS光开关执行器－平行电容板结构进行理论研究，建立了静态方程，得出了上极板偏转角度与驱动电压的关系和驱动电压与平行电容板结构几何参数的关系。并对平行电容板结构进行了动态分析，导出了响应时间影响因子的计算公式，分析研究了响应时间的各种影响因素。
将脉冲电压驱动应用于平行电容板结构，用PWM技术对脉冲电压的宽度进行调制，建立了在脉冲电压驱动下的理论分析模型。理论分析结果表明：脉冲电压的调制频率对上极板偏转角度与脉冲电压宽度的线性度有一定的影响，当脉冲电压的调制频率是上极板自然振动频率的5倍以上时，它们的线性关系非常理想。比较了直流电压驱动和脉冲电压驱动，后者从能量损耗和线性度方面要优于前者。