在带有掩膜的面向微通道的激光微加工系统中,一般用光学缩微系统缩小通过掩膜光斑的尺度,实现微米尺度精细加工。在制备薄膜改善微通道表面粗糙度和疏水性研究中发现,激光固化光斑的直径与微通道宽度的匹配十分重要。然而在通常的激光微加工工艺中,调整固化光束直径一般用更换不同直径圆孔掩膜来实现改变“固化光束”直径的大小。这种工艺的问题在于:1)“固化光束直径”的改变过程是“非连续性”呈“阶梯性”变化的;2)变化的“固化光束”中心一致性的重复误差很大,这在激光微加工中是很大的缺陷,无法精确对单一微通道进行加工。针对具有自主知识产权的微通道同轴气吹展技术和光预固化制备NOA61薄膜技术背景,本文提出了一种掩膜设计思路,即设计分析掩膜直径在微米级的,以孔中心为缩放原点自动调节孔径的激光微加工掩膜装置。这种装置可以根据微通道的不同宽度自动调节光圈半径,同时掩膜孔中心始终位于微通道中心线上。在设计分析和实验验证之后,其结果所形成误差态势是一致的,这说明:1)设计方案可实现误差与半径比小于5%的“微米级以孔中心为缩放原点自动调节孔径的激光微加工掩膜装置”;2)使用成熟精密的成品平移移动和转动组件可以搭建运动误差内的该掩膜装置,省略了在零部件加工和装配过程中制作单一掩膜时,对误差的技术要求和控制,将促进面向微通道激光微加工技术的发展。