太赫兹波具有高穿透性、低能性、高信噪比、相干性以及宽带性等特性,在医药学、生命科学、天文学、移动通讯、军事领域以及安全检测等很多方面具有非常好的应用价值,而太赫兹波导管是传输太赫兹波的重要元器件。传统加工矩形波导腔体的方法主要有微细铣削、多层金属堆叠、光刻等,但这些方法很难实现尺寸更加微细,精度要求更高的腔体的加工。微细电解加工可以实现离子级别的材料去除,因此可以制备尺寸精度以及表面粗糙度非常高的芯模;微细电镀/电铸技术具备非常高的复制精度,可以完全复制芯模形状及其形貌。针对太赫兹矩形波导微腔体尺寸微细、表面粗糙度要求高的特点,本文采用微细电化学加工技术进行波导腔体的制备,主要研究内容如下:(1)探索了在微细镍芯模表面电镀金工艺,研究了电流密度、阴阳极间距、电镀温度以及阴极转速对电镀金层表面形貌、表面粗糙度、镀层均匀性以及镀层显微硬度的影响;(2)探索了在电镀金层表面电铸铜工艺,研究了电铸液配方及电流密度对铸铜层表面形貌、表面粗糙度以及显微硬度的影响;(3)研究了不同条件下镍、铜在蚀刻剂TFG中的溶解效果,采用优化的工艺条件对波导腔体进行选择性溶解研究。研究发现,在开放式的环境中,不施加超声时,蚀刻剂TFG对镍、铜具有很大的选择比,几乎不腐蚀铜;但波导腔体尺寸微细,深宽比特别大,腔体内部的蚀刻剂交换较为困难,因此,当腔体内部的镍被全部腐蚀后,外包的铜层也基本被溶解了,剩下纯金的腔体。(4)对选择性溶解后的工件进一步处理,在纯金的太赫兹矩形波导微腔体外面电铸铜层,完成腔体的制备。