【摘 要】
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本论文的目的是研究基片对薄膜结构和性能的影响关系，采用倒筒靶直流溅射技术在在LaAlO3(100)和R-平面的蓝宝石（Al2O3(102)）两种基片上制备出c轴取向的外延高温超导YBa2Cu3O7-δ薄膜。本文结合AFM、SEM研究YBCO薄膜的表面形貌，XRD、FWHM分析薄膜的结晶情况，并结合成膜温度和基片的质量进行一系列结构与性能的对比研究，发现LaAlO3（LAO）基片的质量对YBCO薄膜
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本论文的目的是研究基片对薄膜结构和性能的影响关系，采用倒筒靶直流溅射技术在在LaAlO3(100)和R-平面的蓝宝石（Al2O3(102)）两种基片上制备出c轴取向的外延高温超导YBa2Cu3O7-δ薄膜。本文结合AFM、SEM研究YBCO薄膜的表面形貌，XRD、FWHM分析薄膜的结晶情况，并结合成膜温度和基片的质量进行一系列结构与性能的对比研究，发现LaAlO3（LAO）基片的质量对YBCO薄膜的结构完整性有很大影响，不仅影响了薄膜的c轴取向性，而且影响了YBCO的超导性能。
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