【摘 要】
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基于压电陶瓷的驱动技术在微米以至纳米级的微驱动领域有着重要的作用。压电陶瓷驱动器具有体积小、响应快、位移分辨率高等优点,是微位移驱动定位技术中的理想驱动器件。压电陶瓷驱动器在驱动电源作用下输出位移,因此,任何压电陶瓷驱动技术的研究都离不开特定的驱动电源。目前市场上常见的压电陶瓷驱动电源大多是采用线性驱动方式,未能有效解决压电陶瓷迟滞非线性特性所引起的驱动精度的降低。为了补偿迟滞非线性并提高驱动精度
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基于压电陶瓷的驱动技术在微米以至纳米级的微驱动领域有着重要的作用。压电陶瓷驱动器具有体积小、响应快、位移分辨率高等优点,是微位移驱动定位技术中的理想驱动器件。压电陶瓷驱动器在驱动电源作用下输出位移,因此,任何压电陶瓷驱动技术的研究都离不开特定的驱动电源。目前市场上常见的压电陶瓷驱动电源大多是采用线性驱动方式,未能有效解决压电陶瓷迟滞非线性特性所引起的驱动精度的降低。为了补偿迟滞非线性并提高驱动精度,分析了压电陶瓷驱动器输入电压、输入电电荷与输出位移之间的关系,设计了基于电荷反馈控制的压电陶瓷驱动电源
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