超精度加工技术是国家重点资助的研究领域,而高质量的纳米级微进给系统是实现超 精度加工的关键.该文紧密结合工程实际问题,研究纳米级精密磨床辅助进给工作台,拟在进一步提高磨床加工精度,其研究成果具有重要的研究价值和实用意义.取得如下研究成果:详细阐述了一台以电致伸缩陶瓷作动器驱动源,弹性铰链为弹性变形元件的微进给工作台的结构特性和工作原理,确定了工作台的驱动方式及驱动元件,设计了工作台的主体结构,并利用高等材料力学和有限单元法进行了刚度校核及应力校验.将该工作台等效为单自由度弹簧阻尼系统,建立了该工作台动力学模型.为消除平台输出位移非线性及实际工作过程中切削干扰力,建立了针对该平台的闭环控制模型.提出了位移反馈的PID控制算法和力前馈 控制算法以消除平台输出的非线性特性和外界干扰力的影响.该系统可采用精密的电容传感器作为移反馈装置,前馈控制中增加了力传感器作为前馈通道的反馈元件.最后在Matlab环境下进行了以上控制算法的仿真,结果表明平台定位精度和动态跟踪精度得到很大的提高.