论文部分内容阅读
熔石英元件在强光光学系统中具有广泛的应用,但低下的加工效率与元件的抗激光损伤能力严重制约了强光光学系统的发展,因此,实现紫外熔石英元件高效、高阈值加工有着迫切的工程需求与应用前景。本文围绕实现高阈值、高效率加工所迫切需要解决的有关理论和技术问题,通过理论分析、时域有限差分仿真、工艺实验和加工实例相结合的方法,对磁流变抛光、HF酸洗工艺对缺陷的钝化加工特性进行探索,并对联合工艺的阈值提升机理进行了有益的探索,主要研究内容包括:(1)建立了时域有限差分仿真结果与真实阈值的联系,并对典型缺陷的阈值影响规律