论文部分内容阅读
LSAWs技术是利用声表面波在多层薄膜介质中传播时产生色散的原理来进行样品测量的。本文研究声表面波在分层媒质中传播模型及色散理论,着重对LSAWs实验系统优化,数据采集及处理等的研究进展进行阐述。在理论方面,建立了各向同性薄膜/硅衬底的计算模型,通过理论推导,得到了声表面波频散曲线和各参数之间的关系。本文以薄膜的硬度为主要切入点,重点研究了薄膜的杨氏模量同声表面波频散曲线之间的关系,并通过一定的仿真,获得了理论频散曲线的特性。在实验中,分析各个因素对实验信号的影响