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合成气制低碳稀烃Zn氧化物与SAPO-34双功能催化剂的研究
【出 处】
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华东理工大学
【发表日期】
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2004年期
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随着科技的快速发展,人们对被抛光物件的质量要求也越来越严格。铈基稀土抛光粉,作为一种性能优良的抛光材料,因其独特的物理化学性质以及良好的抛光性能被广泛应用于化学机械抛光技术(Chemical mechanical polishing,CMP)和新型抛光材料。但是因为目前的镧铈基抛光粉中绝大多数是掺有氟化钠,氟化钠对人体健康和环境非常的不友好,完成抛光后的抛光废弃物处理难度非常大;而且含有氟的稀土氧
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