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微纳制造业的迅猛发展,也带动着测量技术的不断提高。原子力显微镜和三坐标测量机等也以其各有的优势在不同测量领域得到广泛的应用。原子力显微镜能以纳米级精度测得微纳器件的面型特征,但其测量范围有限;而传统的三坐标测量机虽然可以完成大范围的面型测量,但由于测头的限制导致其测量精度无法达到纳米级。为了解决半球陀螺球碗尺寸与球面精度的大范围高精度测量问题,本文提出了基于三坐标测量机的新型谐振测头的研究。这种谐振测头是一种新型的石英音叉式测头,其特点就是能进行自感应自激励,无需外设的传感器和光学测量仪器,测头结构