压电泵因结构简单、易于加工、输出流量可以精准调控等优点有着广泛的应用前景。面对不同的应用领域对泵的输出流量有着不同的要求,不同输出能力的压电泵得到了不断地研究与发展。为提高压电泵的输出流量,目前主要方式是增加驱动振子个数,因此出现了不同种结构形式的多腔体压电泵。多腔压电泵的结构形式主要有三种,即串联式、并联式及混联式。从压电泵的研究中知道,多腔压电泵既能提高输出压力,也能提高输出流量。随着振子个数的增加,泵体尺寸也随之增大。为减小泵体体积适应各种应用领域。本文采用“排式”和“层叠式”两种设计方式设计了多腔并联有阀压电泵。压电泵的输出性能不仅取决于压电振子工作性能、进口和出口截止阀性能,还取决于腔体的结构形式和多个压电振子工作方式有关。利用压电振子驱动压电泵,设计了多种层叠式多腔并联结构的微型压电泵。在研发多腔并联压电泵的基础上,开展了层叠式多腔并联压电泵的结构设计以及试验等方面的研究。本文具体研究内容如下:(1)本文简要地阐述了压电驱动理论,利用解析法建了立压电振子理论力学模型,从理论上计算出压电泵腔体容积变化,并利用有限元分析法对单晶片压电振子的动态特性进行了仿真分析。(2)对被动截止阀的类型、工作原理进行简要阐述。对比了几种被动截止阀,综合其加工工艺、截止能力、开启所需压力,最终选用伞形橡胶阀为试验所用。(3)结合压电泵并联结构能够提高输出流量特点,分别设计制作了“排式”和“层叠式”多腔并联压电泵。根据各种并联结构的工作特点,结合试验样机,对各个结构工作时表现特性进行试验测试与分析。并对压电泵结构进行了优化。