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微定位平台在精密制造及微操作等领域具有极其重要的理论研究价值与实际应用意义，本文依托国家自然科学基金课题，对微定位平台的机械结构设计与控制器设计作了比较深入的研究，将仿真结果与实验结果进行结合，主要完成了以下的相关工作：在结构设计方面，本文设计了一种完全解耦的二维微定位平台。微定位平台会发生不同方向之间的耦合运动，从而严重影响定位平台的运动精度。本文将几种不同的导向机构进行分析与对比，在此基础上设计了一种基于双平行导向机构的二维微定位平台，同时结合仿真软件对该平台的模态特性进行有限元分析，采