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本论文所研究的课题来自黄石某制冷压缩机厂的生产需要。主要进行用于小量程线性尺寸测量的气动测量系统中气动传感器的机理研究,气动传感器静态特性研究和动态响应特性研究。并希望将这一研究结果应用于对“压缩机缸盖软体垫片”厚度尺寸精密测量分组的数控分选机的研制。 气动测量系统以其测量倍率高、测量精度高、测量力小(0.05~1N)、对被测工件有自洁作用、测量精度保持性好、抗干扰能力强等优点而被广泛应用于工厂生产过程中的零件检测。作者在本课题的近一年半的研究过程中,查阅了大量国内外相关文献资料,到工厂现场和有关研究院所进行了调研,在综合有关气动测量理论的基础上,进行了大量的理论计算和实验验证等研究工作。对高压背压式气动测量用于小量程线性尺寸测量的静态特性曲线的理论工作拐点进行了推导,对气动测量系统中的喷嘴-挡板型气动传感器中的关键部件——主喷嘴和测量喷嘴的参数进行了理论设计,对主喷嘴和测量喷嘴的不同组合,将影响测量系统静、动态特性指标的喷嘴参数进行了对比实验和优化设计,并通过实验验证了理论推导,从而使气动测量系统量程的示值范围达到40μm,灵敏度达到100mv/μm,分辨率达到0.05μm,测量不确定度小于0.2μm,满足了压缩机缸盖软体垫片厚度尺寸精密测量分组的要求。为以气动传感器为核心部件设计由计算机实现数据采集、数据处理、误差分析、自动显示的智能测量系统提供了理论基础和技术支持。