基于一维纳米材料的气体传感器及其应用研究

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本论文主要研究了两种典型一维纳米材料——ZnO纳米棒和碳纳米管的气敏特性,并探索了碳纳米管传感器在毒品/爆炸物检测上的应用。具体研究内容如下:(1)介绍了ZnO纳米尖端场离子化气体传感器的制作方法和气敏测试系统的结构与操作方法,对比了击穿电压与预击穿电流测试方法和动态与静态预击穿电流测试方法的优缺点,并采用动态测试预击穿电流的方法对乙酸、丙酮等蒸气进行了气敏测试,探讨了测试条件对动态测试方法的影响,此外,还研究了碳纳米管作为离子化尖端的抗氧化性能。(2)利用碳纳米管的场离子化、极化作用和吸附特性研制了四种新型气体传感器,并对它们的气敏特性进行了系统地研究。其中,采用丝网印刷的方法在SiO2/Si上下表面各制作一层金属电极,构成了以SiO2为介质层的平板电容结构,再采用CVD方法电容上表面原位生长MWCNT,构成了一种以MWCNT为敏感材料的电容式气体传感器;另外,采用CVD方法在SiO2/Si上生长SWCNT,再采用MEMS工艺在SWCNT上制作梳状电极,构成了一种基于SWCNT的电容/电导式气体传感器;还有,采用湿化学方法将SnO2纳米颗粒修饰在MWCNT表面,制作了一种SnO2修饰的MWCNT气体传感器;此外,采用化学气相沉积的方法在AAO模板中生长MWCNT阵列,然后将模板中的MWCNT阵列两端各粘结一块平板电极,再用HF腐蚀除掉AAO,构成了一种基于MWCNT阵列的电容式气体传感器。(3)采用电子鼻技术将SnO2修饰的MWCNT电导式传感器、SnO2传感器和基于MWCNT膜的电容式传感器作为敏感单元组成传感器阵列,研究了它们对几种常见毒品和爆炸物的敏感特性,并且研制出体积小、重量轻、响应快、运行稳定的毒品/爆炸物检测仪原理样机。
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