氧化铟掺锡透明导电薄膜具有优异的光电特性,引起了人们的广泛关注。本文是以溶胶—凝胶法制备ITO透明导电薄膜及其微细图形为目的,分别探讨了醇钠法与无机盐法制备的ITO薄膜性能的优略,并成功的制备出了ITO薄膜的微细图形。研究发现: 1.无机盐法制备的ITO薄膜电阻率为7。20*10^-3Ω·cm,可见光平均透过率为88%,优于醇钠法。 2.对无机盐法制备的薄膜进行分析测试:在掺杂过程中Sn⁴⁺离子代替了In³⁺离子的位置而生成具有立方In₂O₃铁锰矿结构的固溶体。ITO薄膜表面是由直径大小不同的纳米颗粒组成的,其颗粒平均直径约为50 nm。 3.采用无机盐法成功地制备出了具有感光特性的铟金属螯合物,并利用ITO凝胶薄膜光照前后在无水乙醇中的溶解度差,紫外光通过掩模（mask）照射后,经无水乙醇溶洗可获得凝胶薄膜的微细图形。进一步热处理可获得和掩模负像一致的ITO薄膜的微细图形,最小加工尺寸可达到4.386um。