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原子力显微镜(Atomic Force Microscope,AFM)是在扫描隧道显微镜(Scanning Tunneling Microscope,STM)基础上发展起来的,它通过检测待测样品表面和一个微型力敏感元件之间的极微弱的原子间相互作用力来研究物质的表面结构及性质。原子力显微镜不受扫描隧道显微镜只能测量导体、半导体的限制,对样品无特殊要求,可测量固体表面、吸附体系等,而且具有原子量级的分辨率,能够实时地在空间原位观察与操控原子。因此,AFM在材料科学、生物学、纳米机电及微纳加工领域得到了广