声体波微波技术是六十年代未随着声体波微波换能器的发展而发展起来的，声体波(BAW)微波延迟线由于由于其重量轻、体积小、温度稳定性好,在微波系统信号处理，特别是在微波延迟信号的处理上显示出突出的优越性能，具有不可替代的特点，在军用电子系统中获得广泛应用。中国电科集团第26研究所是目前国内唯一从事声体波器件研制和生产单位,已实现了声体波微波延迟线的工程应用和少量生产。但由于目前声体波微波延迟线的研制技术方案是根据20世纪70年代的工艺装备来进行设计的，存在工艺一致性和重复性差、成品率低、可靠性水平较低等问题。开展声体波微波延迟线的设计和工艺优化研究已势在必行。本论文研究重点在于分析目前影响声体波微波延迟线工程化应用的成品率低和可靠性差的问题，分别对设计方法和工艺方法进行优化改进:在设计方面，改进了声体波微波延迟线换能器设计方法，对全部参数进行最优化设计，并设计了一种全新的换能器拓扑结构（transducer topology）。在工艺方面，开辟了新的工艺技术路线，在现行声体波工艺平台基础上，借用SAW工艺平台与非硅基石英MEMS（微电子机械系统）工艺平台进行工艺优化研究。针对影响成品率和可靠性的换能器电极准直、电极成形、ZnO制备、上下电极引出及封装问题，逐一攻关，克服了声体波器件批生产的瓶颈，提高了工艺制作的一致性和重复性。最终获得了满足装备技术指标要求和工程化批量要求的延迟线。本论文研究得到的设计方法和工艺技术路线，已成为指导我所声体波微波延迟线设计和工艺制作的指导性文件。