超高反射镜是激光陀螺系统中的精密光学器件,反射镜基片表面疵病对激光陀螺输出的线性度和稳定度产生巨大的影响,但由于基片表面疵病的检测精度高、获取完整的疵病信息困难,同时易受杂散光影响,因此是反射镜基片表面质量检测的重点与难点。本文理论分析了表面疵病对反射镜基片背向散射率的影响,使用Matlab模拟计算了不同表面粗糙度情况下反射镜基片表面点状疵病的容许公差；提出了一种改进的暗场散射显微成像方法,据此设计了反射镜基片表面疵病检测系统的工程样机。使用FERD软件仿真分析了不同光源时系统的杂散光,改进了暗场散射系统的光源结构,采用点式半导体激光光源可大大减小杂散光对疵病图像数据的影响；针对检测系统设计了大工作距离的平场无穷远显微物镜,获取高质量的疵病图像信息；设计了合理的系统定位结构与控制软件,通过子孔径平移旋转扫描,自动获取不同光照方向子孔径疵病图像；采用疵病图像拼接融合的方法,对疵病图像进行图像旋转与拼接,最终系统可实现激光陀螺反射镜基片中心Φ4mm口径内精度优于3μm的表面疵病自动检测,并且给出符合疵病标准的反射镜基片工作区。