在Ti6A14V(TC4)合金表面制备具有生物活性的羟基磷灰石涂层,可以将金属高的强度和良好的韧性与生物陶瓷良好的生物活性结合在一起。本文采用脉冲激光沉积法(Pulsed Laser Deposition, PLD)在TC4合金表面制备羟基磷灰石薄膜,研究了沉积压力、激光输出能量、沉积时间、沉积气氛以及衬底温度等工艺参数以及后续热处理对薄膜组织结构、结合强度和生物活性的影响,并且初步探讨了激光氮化基体提高薄膜结晶度的机理。得到如下结果：氩压45 Pa下制备的薄膜表面致密、无裂纹,但是表面富集球状颗粒。薄膜呈非晶态,且Ca/P比大于1.67。沉积时气压越高,颗粒数目越多,Ca/P比下降。激光输出功率的增加和沉积时间的延长,都会使薄膜表面颗粒增多,粗糙度增加。热处理后薄膜由非晶态转变为晶态,Ca/P比更趋近于HA理论值,薄膜表面亲水性改善,但是由于基体与薄膜热膨胀系数的差异,较高的热处理温度(700℃)会使薄膜表面出现裂纹,与基体的结合强度下降。在Hank’s溶液中浸泡5天后,未热处理的薄膜表面溶解明显,有颗粒脱落现象,热处理后的薄膜表面有纳米级磷灰石颗粒的析出,Ca/P比下降,但是薄膜中所含基团种类未发生变化。水蒸气气压45Pa下,由于水蒸气参与反应引起水蒸气气压降低,薄膜表面颗粒较氩压45Pa下少。衬底温度对薄膜表面形貌影响不大,但是对薄膜的结晶度影响较大,并且衬底温度越高,薄膜结晶度越高。激光氮化试样表面的TiN枝晶有利于HA颗粒的形核长大,其表面的薄膜结晶度比抛光试样好,Ca/P比也更接近于理论值。